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SMC電磁閥新產品特輯-平行密封型門閥XGTP系列

2019-4-26 8:44:12??????點擊:1

SMC電磁閥新產品特輯-平行密封型門閥XGTP系列


SMC最新推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產品采用平行密封結構,可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。



                                                                                     產品參數



◇ 長壽命:300萬次(常溫時)

???◇ 低發塵:發塵量減少到1/5以下(與舊型號相比)

???◇ 省氣:耗氣量減少22%

???◇ 輕量:14kg(盒式)

???◇ 工作窗尺寸:50mm X 336mm




                                                                                                                   平行密封構造


門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封(L motion)構造,降低了摩擦系數,可大幅減少發塵量并延長使用壽命。




                                                             應用場合




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