SMC電磁閥新產品特輯-平行密封型門閥XGTP系列

SMC最新推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產品采用平行密封結構，可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。

                                                                                     產品參數

◇ 長壽命：300萬次（常溫時）

???◇ 低發塵：發塵量減少到1/5以下（與舊型號相比）

???◇ 省氣：耗氣量減少22%

???◇ 輕量：14kg（盒式）

???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm

                                                                                                                   平行密封構造

▼門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構造，降低了摩擦系數，可大幅減少發塵量并延長使用壽命。

                                                             應用場合

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